“肯定是光源问题!”
听到这话,已经拍好队伍的胡明镇和章钕京,几乎同时说出一致的原因判断。
而这些数据对于刘教授等人来说,已经是非常高的合格数据。在他们看来,即便是从米国或者岛国进口的光刻机,也不能做到这么高的成品率。
更何况,刘教授等人所能接触到的光刻机,都是国外淘汰的二手光刻机,而且都是一代、二代接触式光刻机。
见识不够,眼界不同,看到的结果就相差非常大。
“老胡、老章,刚才汇报的数据很不错,你们两面对镜头笑一个!”刘教授侧过脸,招呼胡明镇和章钕京。
胡明镇瞥了瞥嘴唇,朝章钕京苦笑一下,“先拍照吧。等一下你再做实验,把问题的原因找出来。”
“只能这么办喽!”章钕京会意的点头。
随着一阵咔嚓咔嚓的声响,胡明镇和章钕京两人的苦笑被定格在这次合影留念的照片上。
刚刚完成合影留念仪式,章钕京就朝手下的技术员大吼一声,“小李,你立即启动紧急风冷装置,给激光光路系统降降温。”
听到这话,郝宁教授一皱眉,“老章,你的意思是激光发生器的温度过高,激光粒子出现不稳定的情况?”
章钕京没说话,微微点头,皱着眉头朝光刻机的工作站走去。
胡明镇的表情跟他一样,此时也很严肃。
他们这帮人表现的如此严肃,这让刘教授等人感到很诧异,“现在的数据非常好啊,老胡他们为甚不开心?”
揣着这种狐疑,刘教授、单教授和董教授等一帮院士级的专家们都收敛笑容,跟在胡明镇等人的身后一起去观看电脑显示屏上的数据。
此时此刻,这台光刻机已经完成了第五片硅晶圆片的光刻工序,激光头正在挪动,朝另外一个工作台横移而去。
“老师你看,激光粒子的强度上来了。”这时,正在操作工作站的技术员指着电脑屏幕惊喜的汇报数据。
激光粒子的强度会直接影响光刻工序的成品率,忽高忽低的情况一般都不允许出现。
“老郝,还是你激光发生器出了问题!”看到这一幕,胡明镇侧过脸来提醒郝宁教授。
郝宁教授的眉头不禁一皱,“是这个道理,但我们目前只能做到这种精度了。”
他告诉胡明镇,影响激光发生器的因素有很多,仅仅卤化物的纯净度这方面就会产生N种激光粒子。更别说激光发生器的机械材料、机械加工精度、机械装配精度等等,都会影响激光粒子的强度。
“长见识喽!难怪我们国家在激光发生器领域跟老外的差距那么大。”
“所以说,我们眼前的这台光刻机所蕴含的技术要远超我们的预想。”
“我认为咱们现在就可以下论断总结,判定这台KrF光刻机研发成功。”
“我同意老单的意见。”
听完郝宁教授的解释,刘教授、单教授、董教授等人反而比较高兴,在光刻室里就已经拿出此次论证审核的初步预判。
在他们看来,胡明镇的团队能做到这一步已经非常成功了。
这台光刻机的项目所取得的成绩,要远远大于项目本身的意义。
然而此时,胡明镇却微皱着眉头跟章钕京商量,“老章,我认为你还要增加两个批次的流片工程测试。”
“对,一个是高功率消耗的模式做光刻实验,一个是平常额定功率模式做光刻实验。”
“那实验经费怎么办?”胡明镇有些愁眉不展。
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