幕上显示的一组组图形比对数据,并没有什么芯片物理图形,不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出,第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。
“各位专家,我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺,其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过,激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层,留下电路图的影像……”
梁宋松指着电脑屏幕,把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程,一一跟这些专家们介绍一番。
这些专家们理论知识比较丰富,第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。
特别是胡明镇发明的Fi制程工艺,他们只是在专业杂志上看过技术论文报道,根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程,总算是开了眼界。
“这套系统的技术确实强,已经超过我所意料之外。”
“真没想到,我们华国也能制造出这种尖端精密设备!”
“胡教授,你们给我们国家争光了。”
刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞,脸上浮现出崇敬不已的表情。
不服气不行啊,事实就摆在眼前。
这帮教授们此时都在打着小算盘,准备回去立即鼓动自己的学生来一鸣集团公司任职。“为甚要出国留学?去鸣芯制造公司任职比留学还要强许多啊!”他们都如是想着。
这时候,梁宋松洋洋得意的介绍,“各位专家,双工制程工艺、Fi制程工艺、扫描式制程工艺等先进的制程工艺,都是我们团队和老师研发的,在第二代光刻机上已经得到过验证。
“不但如此,我们这台光刻机还应用了浸入式制程工艺。把光刻精度再次提高一大截。这种浸入式制程工艺在全球都是一绝,米国佬就是为了得到这种制程工艺才赠送我们三台KrF光刻机的……”
刘教授等人虽然从新闻报道上听说过梁宋松所说得的典故,但现在亲耳听到这段故事,心情激动的不行,宛如喝了蜂蜜一样。
“我们华国有这种尖端技术,并不比老外的水平差!”他们都心潮澎湃,胸膛不由自主的挺了起来,腰杆子也值了。
“不要瞎吹了,快准备好拍照留念的事情。”这时候,芯片技术大咖胡明镇却给梁宋松下达扫兴的命令。
梁宋松没办法,只好朝各位专家们歉意的笑了笑,开始准备布置木椅、幕布、照相机等设施。他也知道,自己的老师这是在故意支开自己,不让自己在这里夸赞老师和团队的功绩。
“老胡,从现在的情况来看,这台光刻机的性能应该达到设计要求了吧?”刘教授意犹未尽,瞥了一眼离去的梁宋松,然后走到胡明镇的身旁。
而胡明镇却微微摇头,“按照我的本意,这台光刻机的速度要达到每分钟曝光一片硅晶圆片。但由于机械、光源功率、光源精度等因素的影响,我们的速度只能达到设计数据的67%。惭愧啊……”
即便这台光刻机有可能是全球目前最先进的光刻机,胡明镇对自己的作品还是感到有些不满意。
“老胡,你就不要矫情了。有了这台光刻机,我们的腰杆子已经直起来喽!”就在这时,章钕京来到光刻室的门卫,咧着大嘴笑呵呵的打趣。
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