说着客套话,并没有拒绝董教授等人的提议。
“只要许董愿意投资,我们这联合办学的大学就由许董来命名。”
“对,我建议让许董亲自任校长!”
董教授、刘教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决策给坐实了。
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?”
按照光刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。但是为了政治任务,只好微微点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!”
随着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制程工艺组成。
比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、清洁激光头、激光头校准对焦……等等等等。
这些工序的精度要求都非常高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。
不但如此,光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格的规定,否则都会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就像准备去参加高考一样?”站在他身旁的刘教授说起玩笑话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受论证审查时,应该都是这种心态的。
一个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台KrF光刻机已经做好准备,下面要开始执行光刻制程工序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟嘟……”随着这一声令下,这台光刻机主体系统上方的报警灯开始闪烁,隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊,终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻!”
“我们这些人都在见证历史啊。”
看到这一幕,刘教授、董教授、单教授等人都非常激动,嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。
因为他们这些人跟胡明镇一样,也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。
这是一个值得纪念的时刻!
刘教授特意看了看自己的手表,时间是:“1997年,2月16日凌晨0点19分30秒!”
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