当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后,监视器显示的各项数据都很正常,精度误差都在许可的范围之内。
“报告许董,主机系统重复精度小于0.001毫米,数据正常。”
“报告万总,主机系统的震动量误差都在量级以内,不会对光刻程序造成影响。”
“报告万总,主机系统的功率输出一直都非常稳定,模拟光刻过程中没有出现波动现象。”
“这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内,没有出现异常情况。”
“……”
技术员们非常专注,每出现一个数据就会把情况如实汇报。
通过他们一番比对下来,这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了!
另一边,郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程,一切也正常。
不但如此,他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试,激光在空气中的散光度误差很小,在正常范围之内。
由此看来,米国佬的这台激光光源系统没有质量问题,性能非常稳定。
看到这一幕,梁宋松也有点傻眼了,“两套系统单体测试都很正常,组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况?”
“这…这事有点邪门啊!”万宁古此时也有点懵,两手一摊,看着许振鸣苦笑,并且直摇头。
今天中午饭的时候,他得到梁宋松的提醒,灵感咋现,其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想,米国产的激光光路系统肯定没问题,国产的光刻机主体系统肯定有问题。
但现在一番检测下来,这两台设备的情况都很正常,问题到底在哪里?
“两台设备单体都正常,组装在一起就不正常。在组装的时候,我们做过哪些改动程序?”
这时,许振鸣慢慢的蹲下身子,目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确,就是这个接驳机构出了问题。
“想想也是,我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来,说出自己的猜想。
“不可能!我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的,加工精度能保证。”万宁古一边说话,一边也跟着半蹲了下来。
这时候,梁宋松有点懵懵的。出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说,要用实验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构的加工面非常光滑,曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。
所以,许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万宁古:“老万,咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验?”
万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。否则,光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思,土办法是解决不了目前的测试困境,这事有点难办了。
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