这种连接方式拆卸起来比较方便,给主机系统造成的震动量非常少,不会影响主机系统的精度。
但这种接驳式的刚性连接方式对接口机构的精度要求非常高,一旦有细微的精度误差,就会无限放大,并且把主机系统的震动量传导给激光光路系统。
许振鸣虽然不懂激光光路系统的技术原理,对机械传动机构的原理还是比较清楚的。
当他看到拆卸开的接驳结构以后,眉头不由得皱了皱,“这个接驳机构的精度要求一定很高,我们集团公司的加工能力肯定做不到吧?”
“万总,我们这边已经好了,现在就做激光光源测试吗?”这时,前来帮忙的郝宁蹲下身子,朝激光光源系统的接驳装置看了看。
郝宁是激光系统的专家,为了配合万宁古小组的行动,把自己手下的两位骨干胡磊和李峰都一起带来帮忙。
胡磊是光学仪器的技术专家,此时正在操作一台进口的激光能量检测仪。
李峰也是光学镜片的技术专家,此时已经把激光光谱分析仪器的靶子调试好,随身能伸入激光光路的激光头下面做实验。
看到这一幕,万宁古稍稍一顿,半蹲的身子站了起来。“嗯,按照计划应该先做激光光路系统的检测,这样能快速排除故障原因。”他眉头微皱的点点头。
这是个非常难的决定,一句话就要消耗几百万元的测试费用。激光光源的检测需要消耗掩膜片、光刻胶、中间试剂、保护镜片等各种进口的原材料。
不过,为了提高光刻机故障的排查效率,万宁古还是果断的做出抉择。在说话的同时,他用眼角的余光瞥了一眼许振鸣。
许振鸣此时半蹲着,目光一直停留在激光光路系统的接驳机构处。
从他的表情来看,几百万元的实验费用简直不值一提,而他眼中的接驳机构倒是非常有价值,一直吸引力了他的目光。
看到这一幕,万宁古朝梁宋松一挥手,“老梁,你们先开始吧。我们这边的检测要滞后一些,最好等你这边的实验结果。”
听到这话,梁宋松把对讲机拿到嘴边,开始下达命令,“风机组开始启动风机;液压组启动油泵,保持压力;各组操作工请注意,准备启动激光光路系统……”
“嘟……嘟……嘟……”
随着梁宋松的一声令下,光刻室里警报声再次响起。梁宋松这一组的技术员们都立即忙碌起来,为激光光源的实验测试做准备。
而这时,作为他们这一组的技术负责人,梁宋松的目光却没有落在光学系统检测工作站的监视器上。他此时却时不时的看向许振鸣,目光还不时间从接驳机构上扫过一下。
“许振鸣难道也看出了什么?应该不会吧?”梁宋松的目光有些诧异,对许振鸣的举动很好奇。
他经验丰富,已经初步判断出这台光刻机故障的主要关键点,本来想准备在最后的技术讨论会议上提出来。倘若能迅速解决这台光刻机的缺陷,根据鸣芯公司的规定,他能另外获得一部分的股份奖励。
但现在……
梁宋松有些着急了,正在犹豫要不要说出自己的判断。
“梁工,咱们现在是不是可以开始了?”这时,郝宁教授收回看向光学检测工作站监视器上的目光,朝梁宋松这边看了过来。
梁宋松此时很犹豫,“我要不要把自己的判断说出来?”
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