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话说这种高精度的数控机床设计可不简单,需要做数据模型设计,要理论验证的。倘若要修改一个关键部件,就要重新做数据模型论证。而传动系统中的轴承非常重要,若是要修改,就等于重新设计一台重型数控机床了。
许振鸣也知道其中的难度。“这一批次的四台机床就这么办吧。要是重新设计,时间上不允许。”他犹豫了一下,当场就拍板下来,确定好洪爱国团队的下一步研发课题方案。
少顷以后,许振鸣又想起来一个好点子,“洪厂长,带我去看看光刻机的基础平台系统。咱们边走边聊。”
于是乎,许振鸣和李尧在洪爱国的带领下,朝另外一间试验车间走去。
在路上,他告诉洪爱国,“你们团队人员应该引进计算机专业的人才。让计算机专业的人员编写一个机床结构设计软件,可以通过软件来生成数据模型。”
这个好点子就是许振鸣刚才想起来的,国际上许多机床公司都已经使用的方法。
用软件的方法建立机床数据模型,在计算机软件里论证好,再开始制造机床,速度快,研发成本还少了许多。国外都是用这种方法设计机床,而我们国内还没有这方面的研究,差距可想而知。
“嗯…许董的这个方法是比较好。我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里。”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是,激动的笑道。
不多时,他们来到一个恒温、无尘的试验车间。
这车间里有一个类似卧式加工中心的平台。平台上有两个安装工位的小平台,加工面非常光滑,用镜面来形容也不为过。
这座平台式的机构,就是光刻机的基础平台系统,上面将要安装两个工位。一个工位用来光刻硅晶圆片,一个工位用于检测晶圆片。
这种方式的加工方法,就叫双工光刻机,目前全球都没有这种设备。一鸣集团公司的这台KrF光刻机若是能研发成功,便是全球第一台双工位光刻机。
这事想想都让人激动,但实现起来难度非常大!
光刻机的基础平台对准精度特别高,要求做到0.003-0.01微米,全球有几家企业能做到?
是以,不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统,每一个备件都加工件,精度要求都非常高。
许振鸣把李尧喊来,就是让他参与改进主传动机构的改进工作,把空气轴承应用到光刻机的平台里。
“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗?”听完许振鸣的介绍,李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机,但不知道光刻机的精度要求会如此之高。
0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念?用肉眼根本看出来有偏差,只能通过激光定位系统来测量误差。
而这种精度的
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