胡春梅声音颤抖的说着话,勉强能把开场白说完。她心慌的厉害,脸颊都有些微微发烧,目光不敢与人对视。
“诸位!我们项目组的计划是这样的。第一步先配齐0.8微米芯片生产线的各种备件。比如说,各种型号的螺栓螺母、支架结构、机器传动件等!不知道我们的生产部门能不能跟得上?”
在胡春梅还在慌乱的时候,胡明镇已经提出第一个问题。
他告诉众人,老外的这些备件看似很简单,但要求却非常高。比如说,老外能用45钢做出非常牢固的螺栓,国内能行吗?
“这点你们请放心!在机械制造这方面,我们一鸣集团不会比任何人差!材料热处理的工艺不行,我们会有合金钢来代替!”洪爱国是许振鸣才提拔上来的生产部副总级别负责人,刚刚接手孙子良的工作。
他告诉胡明镇和林正学等人,只要机械制造、设备加工这方面的备件,一鸣集团公司能解决所有的问题。
而芯片生产线上的所有设备,都和机械制造有点关系。比如说,化学和机械表面处理、晶圆打磨机床…等等,这些装备就是智能机械。一鸣集团公司要制造八十年代末,九十年初的智能机械,简直是小菜一碟。
“好!既然洪总这边没问题,下面最重要的是光刻机这种设备。0.8微米的光源系统,我们要从飞利浦公司进口;其他整机系统的精度,我们能达到吗?”
胡明镇又提出一个问题。
0.8微米-0.25微米的光刻机,属于第一代光刻机。有两种形式,一是接触式光刻机,二是接近式光刻机。
一鸣集团公司的这台光刻机,是荷兰ASML公司产品,属于接触式光刻机,对整机系统的机械性能要求特别高。比如说,设备减震系统、设备对准进度、分辨率等等。
“光刻机整机系统的精度,比五轴联动数控机床的精度还要高,我们能做到么?”
胡明镇怕众人听不懂,把光刻机的原理仔细介绍一遍。
说白了,光刻机就是一种CAM设备,把电路版图雕刻到硅晶圆片上。汞灯的紫色光源才是刻刀,把集成电路雕刻出来。
所以说,机械制造能力差的国家,根本就做不出来高精度的光刻机。
这个问题对于一鸣集团公司来说,也是一个大挑战。五轴联动数控机床项目都没能拿出来,要做这种0.8微米的光刻机,难度不是一般的大。
听完胡明镇的介绍,会议室里顿时安静下来。光刻机是一种综合好几种系统的组合型智能机床生产线,哪个环节出现问题都不行。
看到这种情况,许振鸣不得不出头来拍板。
“胡组长的团队负责光刻机的光源系统;洪总的团队负责光刻机的机体系统;王志忠的团队负责自动控制系统!你们三个团队共同合
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